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附件：波譜儀（*3）、能譜儀（*1）

分析元素 ：B-U

分 辨 率：3nm

電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。可以進行點、線掃描、面掃描分析。

例：電池粉末EPMA面分布測量結果