VacCoat公司
Vac Coat有限公司是高質量定制物理 氣相沉積（PVD）系統的設計者和制造商，客戶服務和售后服務出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下，高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。
Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。Vac Coat的真空鍍膜機系統已通過分銷商銷往許多大學和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。
一、DSR1
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儀器描述：
該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
產品特點：
• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速
• 通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得到更精細的晶粒結構
• 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射
• 可聯網更新用戶友好軟件
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• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
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• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
• 2英寸磁控管陰極
• 兩級直驅4m3/h旋片機械泵
• Pyrex樣品倉：外徑170mm，高140mm，
• 尺寸：50(W) x 37(D) × 45(H) Cm
• 運輸重量（包括真空泵）：42kg
• 電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
• 極 限 真空度：小于40 mTorr
• 電子控制快門
• 電子控制真空閥
二、DCR
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儀器描述：
DCR是一臺結構緊湊的臺式鍍碳儀。可用于掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）和能譜分析（EDX）制樣。
產品特點：
• 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
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• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
• 可聯網更新用戶友好軟件
• 可記錄和繪制涂層參數圖表
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• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
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• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
1、真空泵：二極直驅旋片機械泵（4m3/h)
2、極 限 真空度：小于50 mTorr
3、Pyrex 樣品倉：外徑170mm，140mm，
4、0-25 A脈沖直流開關電源
5、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H x W x D)
6、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
7、電子控制快門
8、精密真空壓力控制閥
9、USB數據傳輸端口
10、運輸重量：46kg
三、DSCR
儀器描述：
DSCR型臺式多功能鍍膜儀，是一臺緊湊型涂布系統，集離子濺射系統和鍍碳系統于一體。該系統能夠在不導電或導電性差的樣品上濺射金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）等貴金屬，并且可以在樣品上鍍上碳膜。
DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備。全自動操作選項使得即使是初學者，也可以輕松使用系統，形象的用戶友好軟件，簡化了對沉積信息的感知。
產品特點：
• 精密可復制涂層：可重復膜厚沉積
• 高分辨率精細涂層（金顆粒可達2nm）
• 低壓濺射
• 無需冷卻系統
• 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍，用于厚層沉積
• 易于操作：7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程，數據輸入簡單快速
• 用戶友好的全自動及半自動控制軟件
• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
1、真空泵：二極直驅旋轉機械泵（4m3/h)
2、Pyrex 樣品倉：外徑170mm，140mm，
3、儀器尺寸：45（H）x50（W）37×（D）Cm
4、2英寸磁控管陰極
5、極 限 真空度：小于50 mTorr
6、電子控制快門
7、自動控制泄露閥
8、電源：220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流開關電源
10、運輸重量：42kg
四、DST1-170
產品描述：
DST1-170是一臺結構緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射，包括惰性金屬以及氧化性金屬，DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。
DST1-170高真空濺射儀，可提供高質量的均勻薄膜，具有較細的晶粒尺寸，十分適用于樣品的分辨和品質表征，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD，也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中，如：納米和微電子、太陽能電池應用、光學元件涂層合薄膜傳感器等。
產品特點：
• 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級旋片式真空泵的前級泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染。
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• 涂層速率可控，可獲得更細的晶粒結構
• 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射
• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
• 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速
• 可通過網絡更新的用戶友好軟件
• 可記錄和繪制涂層參數圖
• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
1、高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）
2、二極直驅旋片機械泵（4m3/h)
3、極 限 真空：小于5x10-6 Torr
4、獨立于壓力自動控制濺射功率
5、全量程真空計（Leybold）
6、ISO-KF 63蝶形閥
7、80 W直流電源
8、電子控制快門
9、電控氬氣泄漏閥
10、設施：220V-240V，50/60HZ-16A
11、運輸重量：36kg
五、DCT
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產品描述：
DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀，可提供細粒度均勻的高質量碳膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品，尤其適合FE-SEM，EDS/WDS，TEM，EBSD和薄膜應用研究等。
產品特點：
• 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
• 可聯網更新用戶友好軟件
• 可記錄和繪制涂層參數圖表
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• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果
• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 可選用碳棒蒸發源及適配大電流電源
• 符合CE標準
產品參數：
1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold
2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵
3、全量程真空計
4、真空倉：外徑170mm，140mm
5、0-25 A脈沖直流開關電源
6、極 限 真空度：小于50×10-6 Torr
7、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H × W × D)
8、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A
9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥
10、電子控制快門
11、涂層參數實時圖
12、USB數據傳輸端口
13、運輸重量：46kg
六、DSCT
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產品描述：
DSCT是一臺多功能的涂布系統，集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體：在一臺儀器中具有可互換的磁頭。
DSCT高真空鍍膜機，可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具有2''磁控管陰極，80w直流開關電源和碳蒸發大電流電源，也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
產品特點：
• 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級旋片式真空泵的前級泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染。
• 涂層速率可控，可獲得更細的晶粒結構
• 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
• 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射
• 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
• 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速
• 可通過網絡更新的用戶友好軟件
• 可記錄和繪制涂層參數圖
• 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
• 樣品臺簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
• 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
• 符合CE標準
產品參數：
1、極 限真空：小于5×10-6 Torr
2、獨立于壓力自動控制濺射速率
3、用于精確控制真空壓力的精密質量流量計（MFC）
4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
5、設施：220V-240V，50/60HZ-16A
6、運輸重量：42kg
整體型號的選型：
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儀器特點：
VacCoat擁有離子濺射噴金儀、鍍碳儀，以及集噴金與鍍碳于一體的型號，用戶可根據不用應用，選擇高真空以及低真空的不同型號。
VacCoat鍍膜儀，可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜，十分適用于高 分辨率和樣品的表征。
•噴金系統具有2''磁控管陰極，磁控建設，減少樣品的 損 傷；
•鍍碳系統配備80w直流開關電源和碳蒸發大電流電源，也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
•鍍碳系統可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
•高真空型號配備渦輪分子泵90 l/s Leybold
•使用二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵
•配有全量程真空計
•可選用高精度石英晶體厚度監測器，測厚精度可達1nm。
•觸摸屏直觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速
•可通過網絡更新的用戶友好軟件
•可控涂層速率，可獲得更細的晶粒結構
•可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射，建設操作靈活簡便
•可記錄和繪制涂層參數圖
•配備電控快門
•樣品臺更換簡單：標準樣品架，高度可調可選轉；也可選用適合多孔樣品的行星式旋轉樣品架
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